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| 适用于MEMS振动陀螺仪的相位读出自校准方法 | |
| 作者单位： | ;1.中国科学院微电子研究所;2.中国科学院物联网研究发展中心;3.中国科学院大学;4.昆山光微电子有限公司 |
| 摘 要： | 相比于传统陀螺仪,MEMS振动陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、价格低廉等优势,但是由于其本身结构的局限性和工艺加工水平的限制,其在性能上还处于低精度陀螺仪的行列。目前已有若干MEMS自校准方案可以应用于MEMS振动陀螺仪以提高其精度指标,然而已有的技术存在着只能消除某一种因素对精度的影响、需要高精度转台系统支撑或者校准的灵敏度不高等不足。为解决上述问题,设计并提出了一种基于相位读出的MEMS振动陀螺仪自校准方案,该方案能消除工艺误差、器件老化、外部环境变化对陀螺仪精度的影响,而且该方案不需要高精度转台系统支撑、能够消除绝大部分因素对精度的影响、校准的灵敏度更高。实验仿真结果表明,该方案能实现MEMS振动陀螺仪的自校准,提高测量精度,扩大MEMS振动陀螺仪的适用范围。 |
| 关 键 词： | 微机械振动陀螺仪 自校准 精度 电信号 |
Phase readout self-calibration method of MEMS vibratory gyroscopes |
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