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| 透明台阶的白光干涉测量方法研究 | |
| 作者姓名： | 耿东锋 何英杰 苏宏毅 |
| 作者单位： | 中国空空导弹研究院, 河南 洛阳 471009;红外探测器技术航空科技重点实验室, 河南 洛阳 471009;中国空空导弹研究院, 河南 洛阳 471009;中国空空导弹研究院, 河南 洛阳 471009;红外探测器技术航空科技重点实验室, 河南 洛阳 471009 |
| 摘 要： | Veeco NT3300表面轮廓仪是基于白光干涉原理的一种非接触测量设备,它的垂直扫描干涉模式可以实现对物体表面形貌的非接触测量。在利用垂直扫描干涉模式对光刻胶形成的透明台阶测量时,设置不同的测量参数会导致较大的测量误差,通过对垂直扫描干涉模式的原理和测量系统的分析,找到了误差产生的原因,并通过合理的测量参数的设置,实现了对透明台阶的准确测量,满足了应用需求。 |
| 关 键 词： | 垂直扫描干涉 零光程差 透明台阶 |
| 收稿时间： | 2013-05-13 |
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