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杂志ISSN号
退火温度对溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜性质的影响
作者姓名:
邓新科
靳映霞
王毓德
胡剑巧
作者单位:
云南大学物理科学技术学院材料系;云南大学工程技术研究院
基金项目:
云南省基金面上项目(2009CD014);云南大学校基金(2010YB044)资助
摘 要:
为了提高ZnO薄膜的光学性能,采用溶胶-凝胶(sol-gel)和简易浸渍提拉法在石英基片上制备ZnO薄膜,并在不同温度下进行退火处理。利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、光致发光(PL)及紫外可见分光光度计对薄膜的结构特征、表面形貌和光学性质进行表征和测试。结果表明:所制备的ZnO薄膜均为六方形纤锌矿结构,结晶程度随退火温度的升高逐渐提高,薄膜透光性能良好,当退火温度低于500℃时,ZnO薄膜在见光区的平均透过率在70%以上。
关 键 词:
ZnO薄膜
溶胶-凝胶
退火温度
晶体结构
光学性质
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