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杂志ISSN号
SOI器件应用展望
作者姓名:
东立
摘 要:
SOI器件应用展望东立摘编绝缘体上硅(SOI)衬底以优良的材料特性和适中的价格/性能比,使其成为高性能IC技术开发的热点。自80年代末,人们对SOI衬底技术本身的研究也不断加强,而最引人们关注的是氧注入硅衬底(SIMOX)和粘合与背面腐蚀SOI(BE...
关 键 词:
绝缘体上硅 衬底 SOI器件 硅材料
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