|
|||||
|
|
| 激光探针法研究高压硅Pn结表面电场 | |
| 引用本文： | 田敬民.激光探针法研究高压硅Pn结表面电场[J].半导体技术,1989(3):54-58. |
| 作者姓名： | 田敬民 |
| 作者单位： | 陕西机械学院自动控制系半导体器件教研室 |
| 摘 要： | 本文介绍一种新的高压硅pn结表面电场的测试方法,即激光探针法,对该测试法的装置与测试原理以及在研究高压pn硅结表面中的应用做了介绍,并对实验结果进行了讨论. |
| 关 键 词： | 激光探针法 高压硅 Pn结 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |