| 流延成膜技术制备高性能多层片式压电陶瓷微驱动器研究 |
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| 引用本文： | 李国荣,陈大任,张望重,张申,沈卫,殷庆瑞. 流延成膜技术制备高性能多层片式压电陶瓷微驱动器研究[J]. 硅酸盐学报, 1999, 27(5): 533-539 |
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| 作者姓名： | 李国荣 陈大任 张望重 张申 沈卫 殷庆瑞 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室 |
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| 基金项目： | 上海市科学技术发展基金，上海青年科技启明星计划 |
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| 摘 要： | 采用压电陶瓷延流厚膜成型技术以及厚膜与金属内电极共烧技术制备了逆压电效应下工作的多层片式压电陶瓷微位移驱动器。该器件具有工作电压低，功耗小，响应快，器件尺寸微小型化等特点，适合于微电子及微型机械应用。本课题对该器件与应用密切相关的位移－电压关系及位移蠕变性能，驱动力和使用寿命等性能测试测试和研究。
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| 关 键 词： | 流延技术 多层片式结构 压电陶瓷微位移驱动器 器件性能 |
HIGH-PERFORMANCE OF MONOLITHIC MULTILAYER PIEZOELECTRIC ACTUATOR FABRICATED BY THE TAPE-CASTING TECHNOLOGY |
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| Li Guorong,Chen Daren,Zhang Wangzhong,Zhang Shen,Shen Wei,Yin Qingrui. HIGH-PERFORMANCE OF MONOLITHIC MULTILAYER PIEZOELECTRIC ACTUATOR FABRICATED BY THE TAPE-CASTING TECHNOLOGY[J]. Journal of The Chinese Ceramic Society, 1999, 27(5): 533-539 |
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| Authors: | Li Guorong Chen Daren Zhang Wangzhong Zhang Shen Shen Wei Yin Qingrui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | tape_casting monolithic multilayer structure piezoelectric actuator device properties |
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