低温下生长的纳米结构聚合物薄膜 |
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引用本文: | 杨英惠.低温下生长的纳米结构聚合物薄膜[J].现代材料动态,2008(6):8. |
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作者姓名: | 杨英惠 |
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摘 要: | 美国国家标准与技术研究所(NIST)开发出一种工艺,在一个特殊的退火过程中可制造出组合共聚物薄膜或BCP(若干化学性质不同的聚合物互相衔接的薄膜)。此项工艺使BCP薄膜应用于下一代微芯片或数据存贮器件的纳米级图形构成成为可能。
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关 键 词: | 聚合物薄膜 纳米结构 生长 低温 美国国家标准 共聚物薄膜 化学性质 退火过程 |
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