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超结型高压功率MOSFET结构工作原理
引用本文:刘松,张龙,刘瞻.超结型高压功率MOSFET结构工作原理[J].今日电子,2013(11):30-31.
作者姓名:刘松  张龙  刘瞻
作者单位:万国半导体元件有限公司
摘    要:目前,高压功率MOSFET具有平面型和超结型(Super Junction)两种常用的结构。早期,高压功率MOSFET主要是平面型结构,它采用厚的低掺杂的N-的外延层,即epi层,用来保证具有足够的击穿电压,低掺杂的N-的epi层的尺寸越厚,耐压的额定值越大,

关 键 词:功率MOSFET  工作原理  结构  高压  结型  击穿电压  平面型  epi
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