可变矩形电子束曝光系统中的变形控制偏转放大器

在可变矩形电子束曝光系统中,通过变形控制偏转放大器,使数字控制系统实现了对电子束斑的形状、尺寸的模拟控制并引入各种校正量。本文概括地叙述了它的控制功能,系统对它的要求以及相应的电气性能。介绍了中科院电工所研制的这种放大器的电路组成和达到其性能指标的测试方法。