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| 用ALE法以锌和H_2S生长ZnS | |
| 引用本文： | 赵谢群.用ALE法以锌和H_2S生长ZnS[J].稀有金属,1993(3). |
| 作者姓名： | 赵谢群 |
| 摘 要： | 日本科研人首次用常压原子层外延法(ALE)以锌和 HzS 制备出 ZnS 外延层,并证明了外延生长速率由自限制工艺本身控制。ZnS 的 ALE 生长是在基本温度为350～500℃的条件下实现的。输入气体的锌分压为2.6×10~(-6)～9.1×~(-5)atm,硫分压为2×10~(-4)～2.4×10~(-3)atm。外延层晶格参数及半高宽数值由×射线双晶 |
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