基于MEMS技术的时差振荡高精度硅压力传感器

基于MEMS技术的时差振荡高精度硅压力传感器是一种全新理念的高精度压力传感器。它通过检测压力敏感膜片正向和反向电阻的放电时间的比值间接测量压力,为数字信号输出。其抗干扰能力强,性能稳定、结构紧凑,相对微硅压阻压力传感器和微硅电容式压力传感器精度高、稳定可靠,主要性能指标和微硅谐振式压力传感器相当,但较之微硅谐振式压力传感器具有工艺简单、成本低、便于产业化生产。其原理由安徽皖科电子工程有限公司首次提出,具有原创性,拥有自主知识产权,并掌握核心技术。