| 谐振式压力传感器驱动仿真研究 |
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| 引用本文： | 张驰.谐振式压力传感器驱动仿真研究[J].软件,2013,34(3). |
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| 作者姓名： | 张驰 |
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| 作者单位： | 厦门大学物理与机电工程学院 机电工程系,厦门,361005 |
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| 摘 要： | 谐振式传感器由于其重量轻、精度高、响应快在压力测量领域获得了飞速发展,传感器的构成包括机械谐振子在内的机电一体的谐振系统,而驱动系统对保持机械谐振器振荡的稳定性和可靠性起着重要作用.本文针对一种典型结构的谐振式压力传感器,分析比较了不同的闭环驱动结构,最后构建了其行为级闭环自激仿真模型,在MATLAB中对自激回路的起振情况进行了仿真；验证了AGC对压力传感器幅度与频率的双重跟踪性.
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| 关 键 词： | MEMS谐振器 闭环拓扑 行为级仿真 |
Simulation and Study on Resonant Pressure Sensor Driven |
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| ZHANG Chi.Simulation and Study on Resonant Pressure Sensor Driven[J].Software,2013,34(3). |
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| Authors: | ZHANG Chi |
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