| 钛酸锶钡(BST)薄膜的组成、结构与性能研究进展 |
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| 引用本文： | 符春林,杨传仁,陈宏伟.钛酸锶钡(BST)薄膜的组成、结构与性能研究进展[J].真空科学与技术学报,2003,23(4):255-263. |
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| 作者姓名： | 符春林 杨传仁 陈宏伟 |
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| 作者单位： | 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054 |
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| 摘 要： | 钛酸锶钡 (BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜 ,应用广泛 ,是高新技术研究的前沿和热点之一。简要介绍了BST薄膜的制备方法和应用 ,对此薄膜的基片、电极、晶界、界面、热处理、膜厚及组成、结构、性能等方面作了重点讨论 ,提出了研究中需要解决的一些问题
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| 关 键 词： | 钛酸锶钡 铁电薄膜 基片 电极 晶界 界面 介电性能 |
| 文章编号： | 0253-9748(2003)04-0255-09 |
| 修稿时间： | 2002年11月25 |
Latest Progress of Barium Strontium Titanate Film:Stoichiometries,structures and Properties |
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| Fu Chunlin,Yang Chuanren and Chen Hongwei.Latest Progress of Barium Strontium Titanate Film:Stoichiometries,structures and Properties[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2003,23(4):255-263. |
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| Authors: | Fu Chunlin Yang Chuanren and Chen Hongwei |
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| Affiliation: | Fu Chunlin,Yang Chuanren * and Chen Hongwei |
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| Abstract: | Barium strontium titanate(BST)film,as an important ferroelectric material,has become an extensively studied subject of much basic and technological interrest.The latest progress on various aspects of the subject,including its growth techniques,its microstructures and its properties,were tentatively reviewed in a thought provoking way.The discussion also involves some technical problems to be solved. |
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| Keywords: | Barium strontium titanate Ferroelectric thin film Substrate Electrode Grain boundary Interface Dielectric property |
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