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| 瓶装高纯气体粒子污染的测定与控制 | |
| 引用本文： | Hard.,TK,张洪雁.瓶装高纯气体粒子污染的测定与控制[J].低温与特气,1989(4):14-21. |
| 作者姓名： | Hard. TK 张洪雁 |
| 作者单位： | 航空航天部第七设计研究院 |
| 摘 要： | 前言由于半导体工业的持续发展,已生产出了更密集和更复杂的电路。因此,在工厂生产工艺中,所用材料的洁净度和纯度就变得更为关键了。集成电路生产时,粒子的污染已被认为是唯一最大产品损失率的来源。粒子可以引起电路的断路或短路,改变半导体的电性能,造成晶格结构的损坏,以及影响 |
| 关 键 词： | 粒子污染 高纯气体 测定 控制 |
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