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| 压电微马达研制 | |
| 引用本文： | 卢建国 沈德新. 压电微马达研制[J]. 仪表技术与传感器, 1998, 0(6): 11-12,10 |
| 作者姓名： | 卢建国 沈德新 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 基金项目： | 国家攀登计划“微电子机械系统”资助项目 |
| 摘 要： | 本文采用微机械加工研制压电微马达，用硅平面工艺首次制作了硅转子并装配成直径φ１．８ｍｍ压电微马达，得到转速为３０￣５０ｒ／ｍｉｎ。同时对传子重量，形状，激励频率与转速关系进行研究。 |
| 关 键 词： | 压电电机 旋转波 微马达 微机械 微电机 |
Development of the Piezo-Micromotor |
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| Abstract: | |
| Keywords: | Piezoelectric Rotation Wave Micromotor. |
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