通径150毫米可烘烤全金属超高真空闸阀的研制

一、引言可烘烤金属密封的超高真空阀门在我国还是一个薄弱环节。至今定型的商品化的只有无氧铜阀头的,口径为25毫米和50毫米的两种角阀,尚未形成较完整的系列。近几年来,国内有几个单位正在研制口径150、200和300毫米的超高真空闸阀。作为软密封面材料的有氟橡胶、铟和在钛合金板上镀银等。有的已经研制成功并见之于报道。本文介绍的阀门是托卡马克类型的受控核聚变装置HLQ-1上的部件。开始我们为了提高烘烤时的抗氧化性能,采用黄金电镀层作为软密封面,但结果不理想。我们没有在镀金方面深入下去,而是改用了镶嵌金丝圈的方法,取得了较满意的结果。