集成光学中的介质薄膜

集成光学是近十年发展起来的一门光学、电子学和固体物理学的新的边缘学科。它的出现将使通讯技术、计算技术等信息处理和传输工程面临一场重大的改革。平面光波导介质薄膜无论在理论上,还是在实践上,都是集成光学元件的基础,而且有的己经应用在一些光学器件中。在工艺上,它发展了集成电路的生产工艺,但其要求更苛刻、更复杂。本文的主要内容是:(1)光导介质薄膜的基本特征;(2)平面光波导的耦合方式;(3)平面光波导的工艺简介。