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| 反应气压对MWPCVD金刚石膜中非金刚石相碳含量的影响 | |
| 作者姓名： | 舒兴胜 邬钦崇 等 |
| 作者单位： | [1]中国科学院等离子体物理研究所，合肥230031 [2]中国科学院等离子体物理研究所，合肥23003 |
| 摘 要： | 在水冷反应室式MWPCVD装置中以CH4和H2为反应气体进行了金刚石膜的沉实验，研究了反应气体的压强对金刚石膜中非刚石碳相含量的影响，实验发现，当微波输入功率较小时，随着反应气压的上升，沉积膜中非金刚石相碳的含量单调下降，当微波输入功率较大时，沉积膜中非金铡石相碳的含量先随着反应气压的上升而降低，后又随着反应气压的上升而稍稍增加。 |
| 关 键 词： | 微波等离子体化学气相沉积 金刚石膜 气压 非金刚石相 碳含量 制备 |
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