反应气压对MWPCVD金刚石膜中非金刚石相碳含量的影响 |
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作者姓名: | 舒兴胜 邬钦崇 等 |
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作者单位: | [1]中国科学院等离子体物理研究所,合肥230031 [2]中国科学院等离子体物理研究所,合肥23003 |
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摘 要: | 在水冷反应室式MWPCVD装置中以CH4和H2为反应气体进行了金刚石膜的沉实验,研究了反应气体的压强对金刚石膜中非刚石碳相含量的影响,实验发现,当微波输入功率较小时,随着反应气压的上升,沉积膜中非金刚石相碳的含量单调下降,当微波输入功率较大时,沉积膜中非金铡石相碳的含量先随着反应气压的上升而降低,后又随着反应气压的上升而稍稍增加。
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关 键 词: | 微波等离子体化学气相沉积 金刚石膜 气压 非金刚石相 碳含量 制备 |
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