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| 宏观机械设计原理在微机械中可行吗？ | |
| 作者姓名： | 李路明 |
| 摘 要： | 微型机械是装配在单一硅片上的电子机械系统.从精密外科手术仪器到微光学元件,都是它潜在的应用范围.随着微机械的复杂程度增加,它的精度日益引起了人们的关注.翻开历史,最早有关精密机械起源的讨论是由Evans提供的.曾有二种精密机械在历史上做出过巨大贡献,一类是钟表,另一类是衍射光栅刻划机.精密机械工程的进步带来了零部件更高的性能和更小的造价.一百年来精密机械的设计、制造都在百万分之几 |
| 关 键 词： | 机械设计 微机械 宏观机械设计 |
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