| 正面腐蚀方法制作新型微机械红外热堆探测器 |
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| 引用本文： | 徐峥谊,熊斌,王跃林,戈肖鸿. 正面腐蚀方法制作新型微机械红外热堆探测器[J]. 微细加工技术, 2001, 0(4): 61-64 |
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| 作者姓名： | 徐峥谊 熊斌 王跃林 戈肖鸿 |
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| 作者单位： | [1]中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点联合实验室,上海200050 [2]中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划项目(G1999033101) |
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| 摘 要： | 阐述了微机械制造工艺制作红外热堆探测器的方法,其采用新的正面湿法腐蚀的方法释放体硅,获得悬梁结构的红外热堆探测器。该探测器用LPCVD（低压化学气相沉积）氮化硅膜,与热氧化得到的氧化硅膜形成三明治结构作为热偶对的支撑结构;热偶材料采用多晶硅与金属。实验结果表明这是一种很有前景的制作方法。
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| 关 键 词： | 微机电系统 红外热堆正面腐蚀法 红外探测器 |
| 文章编号： | 1003-8213(2001)04-0061-04 |
| 修稿时间： | 2000-12-07 |
Fabrication of a New Micromachined Infrared Thermopile Detector by Front- Etch Process |
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| XU Zheng yi,XIONG Bin,WANG Yue lin,GE Xiao hong. Fabrication of a New Micromachined Infrared Thermopile Detector by Front- Etch Process[J]. Microfabrication Technology, 2001, 0(4): 61-64 |
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| Authors: | XU Zheng yi XIONG Bin WANG Yue lin GE Xiao hong |
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| Abstract: | A new approach of fabricating micromachined infrared thermopile detector is presented. Thermopile with cantilever structure was obtained by new front etch process. The detector was supported by a sandwich structure formed with LPCVD SiN layer and thermal oxidation SiO 2 layer. The thermocouples were composed of polysilicon and metal. Results show that it is a promising way to fabricate thermopiles. |
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| Keywords: | MEMS infrared thermopile front etch anisotropic etching |
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