| 一种防止声表面波器件静电烧伤的方法 |
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| 引用本文： | 伍平,赵雪梅,董加和,陈彦光. 一种防止声表面波器件静电烧伤的方法[J]. 压电与声光, 2021, 43(2): 222-224 |
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| 作者姓名： | 伍平 赵雪梅 董加和 陈彦光 |
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| 作者单位： | （中国电子科技集团公司第二十六研究所，重庆400060） |
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| 摘 要： | 为了防止声表面波器件被自身的热释电静电烧伤,提出了一种新的静电防护方法.该方法采用导电介质来实现对声表面波器件引脚的良好接触,并建立了静电传导途径,实现了热释电静电的释放,解决了困扰声表面波器件的静电敏感问题.试验结果表明,该方法能有效预防静电烧伤,具有很好的实用性.
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| 关 键 词： | 声表面波器件 导电介质 静电 热释电 晶片 |
Method to Prevent Damage of SAW Devices from Electrostatic Discharge |
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| WU Ping,ZHAO Xuemei,DONG Jiahe,CHEN Yanguang. Method to Prevent Damage of SAW Devices from Electrostatic Discharge[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2021, 43(2): 222-224 |
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| Authors: | WU Ping ZHAO Xuemei DONG Jiahe CHEN Yanguang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface acoustic wave(SAW) device conductive medium static electricity pyroelectricity wafer |
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