| 高动态位移ScAlN基超声换能器的设计及制作 |
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| 引用本文： | 彭火祥,苗斌,徐瞻,刁莉娜,程晋荣,李加东,赵祥永,张巧珍. 高动态位移ScAlN基超声换能器的设计及制作[J]. 压电与声光, 2021, 43(2): 183-186 |
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| 作者姓名： | 彭火祥 苗斌 徐瞻 刁莉娜 程晋荣 李加东 赵祥永 张巧珍 |
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| 作者单位： | (1.上海大学 材料科学与工程学院，上海 200444；;2.中国科学院 苏州纳米技术与纳米仿生研究所多功能材料与轻巧系统重点实验室，江苏 苏州 215123；;3.中国科学技术大学 纳米科学技术学院，江苏 苏州 215123；4.上海师范大学 数理学院，上海 200234) |
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| 摘 要： | 超声探测作为重要的感知技术，其探测性能一直是学术界研究的热点。针对薄膜超声换能器谐振位移低，导致输出声压较低，从而影响探测性能的问题，该文提出了一种高动态位移的薄膜ScAlN基超声换能器结构，该结构直径为360 μm，中心处膜层由4根悬梁支柱固支，通过微机电系统（MEMS）微纳加工技术制作了换能器阵列。测试结果表明，该器件谐振频率下，中心处动态位移可达2.16 μm/V。此外，该结构使膜层振动模态转变为输出声压更高的活塞型模态，相关工作为空气介质中长距离超声测距传感器的研究奠定了基础。
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| 关 键 词： | ScAlN薄膜；动态位移；新型pMUT结构 |
Design and Fabrication of ScAlN Based Ultrasonic Transducer with High Dynamic Displacement |
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| PENG Huoxiang,MIAO Bin,XU Zhan,DIAO Lin,CHENG Jinrong,LI Jiadong,ZHAO Xiangyong,ZHANG Qiaozhen. Design and Fabrication of ScAlN Based Ultrasonic Transducer with High Dynamic Displacement[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2021, 43(2): 183-186 |
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| Authors: | PENG Huoxiang MIAO Bin XU Zhan DIAO Lin CHENG Jinrong LI Jiadong ZHAO Xiangyong ZHANG Qiaozhen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ScAlN film dynamic displacement novel pMUT structure |
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