| 压电陶瓷驱动器迟滞建模方法研究 |
| |
| 引用本文： | 王艳艳,边焱,郭海.压电陶瓷驱动器迟滞建模方法研究[J].传感技术学报,2019,32(4):562-567. |
| |
| 作者姓名： | 王艳艳 边焱 郭海 |
| |
| 作者单位： | 天津职业技术师范大学,天津市信息传感与智能控制重点实验室,天津300222;国家海洋技术中心,天津,300112 |
| |
| 基金项目： | 天津市自然科学基金青年项目(18JCQNJC005600)、天津市科技计划项目(17KPXMSF00120)、天津市教委科研计划项目(JWK1612) |
| |
| 摘 要： | 压电陶瓷驱动器是原子力显微镜(AFM)的关键组件。AFM在生物、材料及半导体等领域应用广泛,而利用AFM获得高精确的测试结果依然面临诸多挑战。其中,压电陶瓷驱动器具有迟滞、非线性等特点,在大范围高频工作状态下,对定位精度的影响更显著,这严重限制了AFM的进一步应用。本文围绕大范围压电陶瓷驱动器的迟滞性展开研究,设计一种基于改进型多项式拟合算法的迟滞建模方法,使得拟合模型可随输入信号频率的变化而变化,充分提高压电陶瓷迟滞模型的准确性。实验表明,该方法可为压电陶瓷驱动器建立准确的迟滞模型,建模过程简单,通过设计基于该迟滞逆模型的前馈控制算法,可使驱动范围在100μm的压电陶瓷驱动器的线性度提高至1.5%。
|
| 关 键 词： | 压电陶瓷驱动器 迟滞性 动态多项式拟合 逆模型 AFM |
Study of Hysteresis Modeling Method for Piezoelectric Driver |
| |
| WANG Yanyan,BIAN Yan,GUO Hai.Study of Hysteresis Modeling Method for Piezoelectric Driver[J].Journal of Transduction Technology,2019,32(4):562-567. |
| |
| Authors: | WANG Yanyan BIAN Yan GUO Hai |
| |
| Affiliation: | (Tianjin Key Laboratory of Information Sensing and Intelligent Control,Tianjin University of Technology and Education,Tianjin 300222,China;National Ocean Technology Center,Tianjin 300112,China) |
| |
| Abstract: | WANG Yanyan;BIAN Yan;GUO Hai(Tianjin Key Laboratory of Information Sensing and Intelligent Control,Tianjin University of Technology and Education,Tianjin 300222,China;National Ocean Technology Center,Tianjin 300112,China) |
| |
| Keywords: | piezo electric driver hysteresis dynamic polynomial fit inverse model AFM |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《传感技术学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《传感技术学报》下载全文 |
|
