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杂志ISSN号
基于谐振原理的硅微机械加速度计
作者姓名:
贾玉斌
郝一龙
钟莹
张嵘
摘 要:
基于力学振动原理,导出敏感梁类谐振振动的微分方程,给出了振梁型加速度计的设计原理.指出了加速度计谐振梁频率的相对变化量与梁的厚度无关;为避免输出非线性频率信号,频率的相对变化率和激励振动的振幅都不宜太大.
关 键 词:
加速度计
类谐振器
非线性
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