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| GaAs对称定向耦合光开关的研究 | |
| 引用本文： | 冯浩,李锡华,王明华,吴志武.GaAs对称定向耦合光开关的研究[J].半导体学报,1993,14(5):286-291. |
| 作者姓名： | 冯浩 李锡华 王明华 吴志武 |
| 作者单位： | 浙江大学信息与电子工程系，浙江大学信息与电子工程系，浙江大学信息与电子工程系，浙江大学信息与电子工程系 杭州 310008，杭州 310008，杭州 310008，杭州 310008 |
| 摘 要： | 本文报道了GaAs对称定向耦合光开关的研制,分析了器件的工作原理和影响串音度的因素。首次实现了电极自对准工艺,减小了电极的套刻误差。在λ=1.15μm下测试器件开关特性,得到了小于—26dB的串音度和13~v的开关电压。用小信号测量法测得器件带宽大于1GHz。这种开关将在GaAs开关列阵中得到应用。 |
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