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金属有机化合物在制备半导体材料中的应用
作者姓名:阎圣刚 周科衍
作者单位:大连理工大学化工学院,大连理工大学化工学院 大连 116012,大连 116012
摘    要:简单介绍了金属有机化合物的制备及其在光电薄膜.陶瓷薄膜及纳米级半导体材料中的应用。

关 键 词:金属有机化合物 制备 光电薄膜 陶瓷陶膜
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