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| 金刚石薄膜形貌的控制 | |
| 引用本文： | 耿东生 李兴无. 金刚石薄膜形貌的控制[J]. 西北工业大学学报, 1998, 16(2): 182-186 |
| 作者姓名： | 耿东生 李兴无 |
| 作者单位： | 西北工业大学 |
| 摘 要： | 用热丝CVD法，以甲烷和氢气为气源，制备出了优质的金刚石薄膜。研究了沉积工艺参数对金刚石薄膜形貌的影响。结果表明：降低碳源浓度或升高衬底温度，沉积的金刚石薄膜呈现以三角形为主的形貌；反之，沉积的金刚石薄膜则呈现以四方形为主的形貌。 |
| 关 键 词： | 金刚石薄膜 工艺参数 形貌 |
Micromorphological Control for Diamond Thin Films |
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| Geng Dongsheng, Zhang Guifenq, Li Xingwu, Zhenq Xiulin. Micromorphological Control for Diamond Thin Films[J]. Journal of Northwestern Polytechnical University, 1998, 16(2): 182-186 | |
| Authors: | Geng Dongsheng Zhang Guifenq Li Xingwu Zhenq Xiulin |
| Abstract: | |
| Keywords: | diamond thin film mocromorphology substrate temperature concentration of carbon soure |
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