| 不同激光能量和Zr/Ti比对PLD法制备PZT薄膜结晶质量的影响 |
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| 引用本文： | 李瑛娟,滕瑜,宋群玲,杨志鸿,蔡川雄,张金梁. 不同激光能量和Zr/Ti比对PLD法制备PZT薄膜结晶质量的影响[J]. 昆明冶金高等专科学校学报, 2021, 37(3): 7-12. DOI: 10.3969/j.issn.1009-0479.2021.03.002 |
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| 作者姓名： | 李瑛娟 滕瑜 宋群玲 杨志鸿 蔡川雄 张金梁 |
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| 作者单位： | 昆明冶金高等专科学校冶金与矿业学院,云南 昆明650033 |
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| 摘 要： | 典型的压电材料Pb(Zr0.52 Ti0.48)O3因其优异的性能,可用来制备各种类型的压电器件,一直受到许多研究者的关注.采用PLD法在SrTiO3(100)单晶衬底上制备出了不同组分的PZT薄膜,讨论了不同激光能量和Zr/Ti比对Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜结晶质量的影响,得出最佳生长PZT薄膜的条件,...
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| 关 键 词： | PZT薄膜 激光能量 Zr/Ti比 结晶质量 |
Effect of Different Laser Energies and Zr/Ti Ratio on the Crystalization Quality of PZT Thin Film Prepared by PLD Method |
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| LI Yingjuan,TENG Yu,SONG Qunling,YANG Zhihong,CAI Chuanxiong,ZHANG Jinliang. Effect of Different Laser Energies and Zr/Ti Ratio on the Crystalization Quality of PZT Thin Film Prepared by PLD Method[J]. Journal of Kunming Metallurgy College, 2021, 37(3): 7-12. DOI: 10.3969/j.issn.1009-0479.2021.03.002 |
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| Authors: | LI Yingjuan TENG Yu SONG Qunling YANG Zhihong CAI Chuanxiong ZHANG Jinliang |
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