基于优化点激光的平面度测量研究

为了提高平面度测量的精度，提出优化点激光方法。首先将点激光测量坐标系进行转换；然后用激光束进行平面标定，同时通过滑动滤波对激光采集混有的噪声点进行降噪，以免影响测试，建立测量数据的非线性误差和激光位移传感器输出模型进行输出误差补偿；最后通过最小二乘算法获得最佳拟合平面。实例验证结果显示，优化点激光的平面度误差测量平均值为5.189μm,相比直接法、平面扫描仪法、横截线扫描法、点激光测量法、光谱共焦法测量平面度误差，分别减少了18.77%、16.78%、12.45%、9.17%、6.54%,测量精度较高。