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355nm紫外激光抛光Al_2O_3陶瓷作用机理的实验研究
引用本文:华显刚,魏昕,周敏,谢小柱.355nm紫外激光抛光Al_2O_3陶瓷作用机理的实验研究[J].中国激光,2014(12).
作者姓名:华显刚  魏昕  周敏  谢小柱
作者单位:广东工业大学机电工程学院;
基金项目:国家自然科学基金(50675038,50805027);广东省科技计划项目促进科技服务业发展专项计划(2010A040203002);省部产学研结合科技创新平台(2011A091000002);广东省自然科学基金项目(S2013010014070)
摘    要:陶瓷材料的性能优越,但是表面质量差,采用短波长激光抛光技术可以有效提高陶瓷材料表面质量。针对紫外激光抛光Al2O3陶瓷过程中可能存在的熔化、汽化、微裂纹、材料的熔融飞溅和光化学作用等不同的作用形式进行了实验研究。通过对抛光后表面形貌特征进行观测,研究了紫外激光抛光Al2O3陶瓷的作用机理,并分析了高能量密度下产生的白色粉末的形貌、附着力、组成成分和主要物相,进一步确定了紫外激光抛光Al2O3陶瓷的作用机制。

关 键 词:激光技术  加工机理  紫外激光抛光  AlO陶瓷  白色粉末
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