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| 激光束在微电子学中的应用 | |
| 引用本文： | 周有斐.激光束在微电子学中的应用[J].真空电子技术,1984(6). |
| 作者姓名： | 周有斐 |
| 作者单位： | 八七八厂 |
| 摘 要： | 激光的特点是有较完美的单色特性、频谱范围宽及功率集中。任何频率的激光器其频带都只有2nm左右,这样就使其有用功率特别高。现在已有办法(拉曼散射法)使准分子激光器(Excimer)的频谱可以填满整个紫外频谱。激光器相当一个高度的点光源,如果与高压水银灯相比,一瓦可见光氩激光器的亮度为200瓦水银灯在其整个频谱上亮度的百万倍。下面介绍激光束在微电子技术中的一些应用。准分子激光器的应用。这种激光器以其紫外波段的功率高而受到 |
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