| 正方形钛试样表面等离子体基离子注入氮的保留剂量研究 |
| |
| 引用本文： | 孙琦,夏立芳,马欣新.正方形钛试样表面等离子体基离子注入氮的保留剂量研究[J].材料科学与工艺,2003,11(3):273-276. |
| |
| 作者姓名： | 孙琦 夏立芳 马欣新 |
| |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,材料科学与工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001 |
| |
| 摘 要： | 为了研究靶形状对等离子体基离子注入均匀性的影响，应用Auger电子能谱(AES)剖面分析，测量并计算了正方形靶表面排布的Ti试样经氮等离子体基离子注入(PBⅡ)的保留剂量分布．由于N的Auger电子发射能量与Ti的完全重合，而且表面氧化层对Ti的Auger跃迁产生很大的影响，因此应用AES对于氮等离子体基离子注入钛基金属进行化学分析变得较为复杂．本文探讨了一种既解决峰位重叠问题又考虑氧化层影响的方法，从而能够根据，AES溅射剖面分析数据计算浓度深度曲线，并获得保留剂量．正方形靶表面不同位置处的剂量测算结果表明，靶的形状对于保留剂量有着很大的影响，造成剂量呈梯度分布．同时还发现，Ti氧化层随着保留剂量的增大而增厚。
|
| 关 键 词： | 钛 等离子体基离子注入 氮 保留剂量 均匀性 靶 |
| 文章编号： | 1005-0299(2003)03-0273-04 |
| 修稿时间： | 2002年4月10日 |
Retained dose analysis for nitrogen plasma based ion implantation of square -shaped titanium sample |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | plasma based ion implantation Auger electron spectroscopy dose analysis titanium |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
