| 光学薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 唐晋发.光学薄膜的研究[J].光学仪器,1991,13(2):34-36. |
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| 作者姓名： | 唐晋发 |
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| 作者单位： | 浙江大学 |
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| 摘 要： | 本文概述了当前薄膜光学领域里的一些研究工作,并就具体的研究方向,如:光学薄膜的离子束辅助淀积和离子束溅射、低能离子镀技术,光学薄膜的成核、生长和微结构的模型,薄膜特性的检测和微结构分析等作了论述。
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| 关 键 词： | 光学薄膜 薄膜 |
Study on Optical Thin Film |
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| Abstract: | This paper briefs some research work in the area of optical thin film as well as describes some concrete research work such as: ion beam aided deposition, ion beam sputter, low energy ion coating, testing of film performance and analysis of film microstructure. |
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| Keywords: | |
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