6328Å全反射介质膜真空镀膜工艺探讨 |
| |
作者单位: | 张钧(河北理工大学轻工学院,河北,唐山,063020) 王玉平(河北理工大学轻工学院,河北,唐山,063020) |
| |
摘 要: | 阐述了6328(A)全反射介质膜的镀膜原理和实际镀膜工艺,分析了镀膜后必须进行固膜的原因,并给出了镀制6328全反射介质膜的蒸镀参数和经过固膜后的测量结果分析.
|
关 键 词: | 镀膜 薄膜光学 固膜 蒸镀参数 柱体 |
文章编号: | 1002-0322(2004)05-0051-03 |
修稿时间: | 2004-02-15 |
Å total-reflectionmultilayer thin film |
| |
Abstract: | |
| |
Keywords: | |
|
|