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| 6328Å全反射介质膜真空镀膜工艺探讨 | |
| 作者单位： | 张钧（河北理工大学轻工学院,河北,唐山,063020） 王玉平（河北理工大学轻工学院,河北,唐山,063020） |
| 摘 要： | 阐述了6328(A)全反射介质膜的镀膜原理和实际镀膜工艺,分析了镀膜后必须进行固膜的原因,并给出了镀制6328全反射介质膜的蒸镀参数和经过固膜后的测量结果分析. |
| 关 键 词： | 镀膜 薄膜光学 固膜 蒸镀参数 柱体 |
| 文章编号： | 1002-0322(2004)05-0051-03 |
| 修稿时间： | 2004-02-15 |
Å total-reflectionmultilayer thin film |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |