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(英)利用分子束外延在GaAs基上生长高特征温度的InAs量子点激光器
引用本文:袁野,苏向斌,杨成奥,张一,尚金铭,谢圣文,张宇,倪海桥,徐应强,牛智川. (英)利用分子束外延在GaAs基上生长高特征温度的InAs量子点激光器[J]. 红外与毫米波学报, 2020, 39(6): 667-670. DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2020.06.001
作者姓名:袁野  苏向斌  杨成奥  张一  尚金铭  谢圣文  张宇  倪海桥  徐应强  牛智川
作者单位:中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验室,北京 100083;中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京 100049;中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验室,北京 100083;中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京 100049;北京量子信息科学研究院,北京 100193;山西大学物理与电子工程学院固体量子材料中心实验室,山西太原 030006
摘    要:通过MBE外延系统生长了1.3 μm的GaAs基InAs量子点激光器.为了获得更好的器件性能,InAs量子点的最优生长温度被标定为520 ℃,并且在有源区中引入Be掺杂.制备了脊宽100 μm,腔长2 mm的激光器单管器件,在未镀膜的情况下,达到了峰值功率1.008 W的室温连续工作,阈值电流密度为110 A/cm-2,在80℃下仍然可以实现连续工作,在50 ℃以下范围内,特征温度达到405 K.

关 键 词:量子点激光器  分子束外延  特征温度  中红外
收稿时间:2020-02-15
修稿时间:2020-11-11

Molecular beam epitaxial growth of InAs quantum dots on GaAs for high characteristics temperature lasers
YUAN Ye,SU Xiang-Bin,YANG Cheng-ao,ZHANG Yi,SHANG Jin-Ming,XIE Sheng-Wen,ZHANG Yu,NI Hai-Qiao,XU Ying-Qiang and NIU Zhi-Chuan. Molecular beam epitaxial growth of InAs quantum dots on GaAs for high characteristics temperature lasers[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2020, 39(6): 667-670. DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2020.06.001
Authors:YUAN Ye  SU Xiang-Bin  YANG Cheng-ao  ZHANG Yi  SHANG Jin-Ming  XIE Sheng-Wen  ZHANG Yu  NI Hai-Qiao  XU Ying-Qiang  NIU Zhi-Chuan
Abstract:
Keywords:quantum dot laser  molecular beam epitaxy  characteristics temperature  mid-infrared
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