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用银膜作反射镜的垂直短腔面发射激光器
引用本文:
陈娓兮,钟勇,蔡兵,赵冀徽,焦鹏飞,王舒民,石志文,高俊华.用银膜作反射镜的垂直短腔面发射激光器[J].半导体学报,1994,15(10):700-703.
作者姓名:
陈娓兮
钟勇
蔡兵
赵冀徽
焦鹏飞
王舒民
石志文
高俊华
作者单位:
北京大学物理系,国家集成光电子联合实验室半导体所区
摘 要:
我们采用液相外延的方法,在n-GaAs衬底上生长分别限制单量子阶作为激光器的有源区.国内首次采用银膜作为垂直短腔面发射激光器的谐振腔的反射镜和欧姆接触电极.分别制作了底部和顶部出光的两种类型管子,在室温脉冲工作状态下,均已观察到激射.顶部出光管子阈值电流为4.5A;底部出光管子阈值电流为3.8A.激射波长为872.8nm,纵模间隔为1.9um.同时还研究了不同银膜厚度在GaAs界面上的反射率.
关 键 词:
发射激光器
银膜
反射镜
谐振腔
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