| 铝诱导对磁控溅射制备CdZnTe薄膜结晶的影响 |
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| 引用本文： | 潘松海,周海,曾冬梅.铝诱导对磁控溅射制备CdZnTe薄膜结晶的影响[J].功能材料,2013,44(6):862-865. |
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| 作者姓名： | 潘松海 周海 曾冬梅 |
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| 作者单位： | 1. 北京化工大学材料科学与工程学院,北京,100029
2. 北京石油化工学院材料科学与工程系,北京,102617 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51002012) |
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| 摘 要： | 选用Cd0.9Zn0.1Te晶体和纯度为99.999%的铝为靶材,结合Al诱导晶化技术,采用磁控溅射法在普通玻璃衬底上制备了CdZnTe薄膜。研究了铝诱导CdZnTe薄膜的结构和形核机理。研究表明,铝诱导的CZT薄膜为闪锌矿结构,且为(111)晶面的取向生长;在薄膜生长过程中,覆盖在CdZnTe表面的铝首先与ZnTe结合,形成了ZnAl2Te4相,并以此为核心,诱导CdZnTe异质形核结晶,重新形成了小晶粒团簇的较致密颗粒状薄膜,提高了薄膜(111)面的优势取向结晶,提高了CdZnTe薄膜的结晶质量。讨论了薄膜的光学性能。
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| 关 键 词： | CdZnTe薄膜 铝诱导 磁控溅射 形核机理 光学性能 |
Research on crystallization of CdZnTe film by Al-induced crystallization |
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| PAN Song-hai
,
ZHOU Hai
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ZENG Dong-mei.Research on crystallization of CdZnTe film by Al-induced crystallization[J].Journal of Functional Materials,2013,44(6):862-865. |
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| Authors: | PAN Song-hai ZHOU Hai ZENG Dong-mei |
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| Affiliation: | 1.College of Materials Science and Engineering,Beijing University of Chemical Technology,Beijing 100029,China; 2.Department of Materials Science and Engineering, Beijing Institute of Petrochemical Technology,Beijing 102617,China) |
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