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关于微电机与机械电子一体化
作者姓名:谭建成
作者单位:西安微电机研究所
摘    要:电子技术,特别是微电子技术的巨大成就渗透到每个学科,使机械技术(包括电气技术)这门古老的技术揉合了新材料、控制论、数字计算机等技术形成了一门新的综合技术——“机械电子一体化技术”、有人又称为“机械电子工程”,或简称为“机电一体化技术”。由这门新技术所创造出来的机电一体化产品或装置已不是一种单纯的机械产品或电气产品,而是有较为完善功能的一个部件或子系统。机电一体化的需要和影响给微电机带来了深刻的变化。一、微电机是机电一体化技术的重要元件一般认为机电一体化产品由下面四部分组成:机械本体部分、传感部分、信息处理部分和执行

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