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用磁控管方式溅射的电子回旋共振等离子体沉积技术

引用本文：	千治,春声.用磁控管方式溅射的电子回旋共振等离子体沉积技术[J].国外核聚变与等离子体应用,1990(1):69-76,F003.

作者姓名：	千治春声

摘要：
关键词：	薄膜沉积等离子体应用磁控管
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