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直流溅射用的磁控管的设计

引用本文：	Alme.,JB 姚良骅.直流溅射用的磁控管的设计[J].国外核聚变与等离子体应用,1990(6):60-66.

作者姓名：	Alme. JB 姚良骅

摘要：
关键词：	磁控管溅射辉光放电
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