| 基于音圈电机的新型高速精密定位系统设计方法 |
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| 引用本文： | 冯晓梅,张大卫,赵兴玉,杜伟涛.基于音圈电机的新型高速精密定位系统设计方法[J].中国机械工程,2005,16(16):1414-1419. |
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| 作者姓名： | 冯晓梅 张大卫 赵兴玉 杜伟涛 |
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| 作者单位： | 1. 天津大学,天津,300072;解放军军事交通学院,天津,300161
2. 天津大学,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404060) |
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| 摘 要： | 设计了一种基于直线音圈电机直接驱动并采用新型弹性解耦机构的高速高精度XY精密定位平台。详细介绍了该装置的结构形式和动态设计方法,并对研制样机进行了性能测试。测试结果表明,该新型精密定位平台具有很高的速度、加速度和精度,能够适应集成电路封装业发展对封装设备提出的新要求。
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| 关 键 词： | 音圈电机 解耦机构 动态设计 性能测试 |
| 文章编号： | 1004-132X（2005）16-1414-06 |
| 收稿时间： | 2005-03-21 |
| 修稿时间： | 2005-03-21 |
Design Method of High Speed Precision Positioning System Based on Voice Coil Actuator |
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| Feng Xiaomei,Zhang Dawei,ZHAO Xingyu,Du Weitao.Design Method of High Speed Precision Positioning System Based on Voice Coil Actuator[J].China Mechanical Engineering,2005,16(16):1414-1419. |
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| Authors: | Feng Xiaomei Zhang Dawei ZHAO Xingyu Du Weitao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | voice coil actuator decoupling mechanism dynamic design performance test |
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