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钛酸铋钠基铁电薄膜掺杂工艺研究
作者姓名:李大吉  王亚平  王卓
作者单位:烟台大学环境与材料工程学院,山东,烟台,264005
摘    要:论文首次介绍了最新的钙掺杂钛酸铋钠薄膜的金属有机溶液沉积法(MOSD法)-匀胶法甩膜(Spin coating)工艺,提出现行铁电薄膜制备工艺要解决的一些问题。

关 键 词:钙掺杂  钛酸铋钠基  铁电薄膜  MOSD+匀胶法制膜工艺
文章编号:1003-2673(2008)01-0042-02
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