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S-枪溅射输运过程的蒙特卡洛法模拟

作者姓名：	邹英寅陈抗生

作者单位：	浙江大学信息与电子工程学系(邹英寅)，浙江大学信息与电子工程学系(陈抗生)

摘要：	本文用蒙特卡洛法对S-枪溅射的粒子输运过程进行了计算机模拟。用靶面的水平磁场分布作为靶面开始刻蚀的粒子发射频度函数。结果表明,膜厚分布的计算值与实测值符合的很好,并比较了不同气压、靶片距对淀积粒子能量和入射角分布的影响。
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