|
|||||
|
|
| 工件表面粗糙度的激光散斑测量 | |
| 引用本文： | 曲辛田 ,董树信 ,郭慧君.工件表面粗糙度的激光散斑测量[J].制造技术与机床,1990(10). |
| 作者姓名： | 曲辛田 董树信 郭慧君 |
| 作者单位： | 西安交通大学 |
| 摘 要： | 本文介绍用激光散斑对比度测量工件表面粗糙度原理和方法。其测量范围为Ｒａ≤０． ０７２μｍ。一般 Ｒａ标准偏差为 ０． ００２μｍ，并可分辨国际中划分的各细分级粗糙度数值。本方法为非接触式测量，具有分辨率高、测速快、对外界光的干扰和振动不敏感的特点。 |
| 关 键 词： | 表面粗糙度 测量 激光散斑 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |