离子束喷涂:未来激光部件的喷涂法 |
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引用本文: | 谢绍安.离子束喷涂:未来激光部件的喷涂法[J].激光与光电子学进展,1997(11). |
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作者姓名: | 谢绍安 |
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摘 要: | 1.引言随着激光技术在材料加工、测量技术、医学及通讯技术等不同领域应用不断取得技术和经济的成就,对激光部件的涂层也提出新的要求。如今,以传统的热涂层法虽能生产出几乎能产生全部激光波长的标准部件,如谐振腔镜、偏转镜、分束镜和输出反射镜。但在激光的一些创新应用领域,这些商品化部件往往受到限制。本文介绍的离子束喷涂法是一种特别适用于生产高质量反射镜的工艺。利用该工艺可在较低温度下,以较高精度生产出损耗小、功率高、厚薄均匀的涂层。七十年代就开始为生产激光陀螺仪用反射镜而对这项技术进行了研究,于79年在美国…
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