多晶硅氢化炉多场耦合的数值模拟

利用计算流体力学软件,考虑包括质量传递、动量传递、热量传递模型,对18对棒西门子多晶硅氢化炉进行数值模拟,得到了多晶硅氢化炉内的流场、温度场,分别从轴向和径向对流动情况以及温度分布进行了分析。通过与实际生产情况进行比较,表明流场、温度场数值模拟的可靠性和准确性。