12英寸硅草晶抛光片的研制 |
| |
引用本文: | 周旗钢.12英寸硅草晶抛光片的研制[J].中国集成电路,2005(1):78-82. |
| |
作者姓名: | 周旗钢 |
| |
摘 要: | 信息产业已成为现代经济的先导产业,以集成电路为核心的电子元器件是信息产业的基础,硅片是集成电路最主要的基础功能材料,在信息产业发展中占有重要的地位和作用。目前世界半导体工业正开始由8英寸硅片的0.25微米技术向12英寸硅片的0.13-0.10微米技术转移,对12英寸硅片的市场需求将逐步扩大。
|
关 键 词: | 信息产业发展 先导产业 现代经济 半导体工业 扩大 市场需求 世界 硅片 抛光片 集成电路 |
本文献已被 维普 等数据库收录! |
|