12英寸硅草晶抛光片的研制

信息产业已成为现代经济的先导产业，以集成电路为核心的电子元器件是信息产业的基础，硅片是集成电路最主要的基础功能材料，在信息产业发展中占有重要的地位和作用。目前世界半导体工业正开始由8英寸硅片的0．25微米技术向12英寸硅片的0．13-0．10微米技术转移，对12英寸硅片的市场需求将逐步扩大。