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ITS9000系列超大规模集成电路测试系统检定方法
引用本文:沈森祖,石坚. ITS9000系列超大规模集成电路测试系统检定方法[J]. 计测技术, 2000, 0(3): 12-14
作者姓名:沈森祖  石坚
作者单位:武汉数字工程研究所,湖北省武汉市武昌74223信箱,430074
摘    要:以ITS9000MX超大规模集成电路测试系统为背景,系统地研究了ITS9000系列测试系统的检定方法,重点描述了它的基本思想,原理和关键技术。

关 键 词:检定 校准 测试系统 ITS9000MX 超大规模集成电路

Study on Verification Method of ITS9000 Series VLSI Test System
Shen Senzu,Shi Jian. Study on Verification Method of ITS9000 Series VLSI Test System[J]. Metrology & Measurement Technology, 2000, 0(3): 12-14
Authors:Shen Senzu  Shi Jian
Abstract:The verification method of ITS9000 series VLSI test system based on ITS9000MX VLSI test system is introduced in the paper,and its basic thought,principles and the key technologies are described
Keywords:Verification  Calibration  Test system.
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