| 一种离散阵列的平面二维电场式时栅位移传感器 |
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| 引用本文： | 王合文,彭 凯,刘小康,蒲红吉,于治成.一种离散阵列的平面二维电场式时栅位移传感器[J].仪器仪表学报,2021(3):88-96. |
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| 作者姓名： | 王合文 彭 凯 刘小康 蒲红吉 于治成 |
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| 作者单位： | 1. 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院;2. 重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51905063,51935004)、重庆市教委科学技术研究项目(KJQN201801127)资助 |
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| 摘 要： | 针对平面二维光栅位移测量技术在高精度和大量程之间难以兼顾的现状,基于前期一维电场式时栅的研究基础,提出了一种离散阵列结构的二维电场式时栅位移传感器.传感器采用平面正交离散栅面空间排布的编码方法,实现了对平面二维电场式时栅激励电极编码;建立了平面二维电场式时栅位移测量模型,从理论上推导了受X和Y两个方向位移信息调制的耦合...
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| 关 键 词： | 电容式传感器 二维位移测量 时栅 大量程 离散阵列 |
Planar two-dimensional electric field time-grating displacement
sensor with discrete array |
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| Wang Hewen,Peng Kai,Liu Xiaokang,Pu Hongji,Yu Zhicheng.Planar two-dimensional electric field time-grating displacement
sensor with discrete array[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2021(3):88-96. |
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| Authors: | Wang Hewen Peng Kai Liu Xiaokang Pu Hongji Yu Zhicheng |
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| Affiliation: | 1. School of Instrument Science and Opto-electronics Engineering, Hefei University of Technology;2. Engineering Research Center of Mechanical Testing Technology and Equipment,
Ministry of Education, Chongqing University of Technology |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | capacitive sensor two-dimensional displacement measurement time grating large range discrete array |
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