单片机及自组织模糊控制在可控硅磁控溅射靶极电源中的应用

本文介绍了由单片机组成的可控硅磁控溅射靶极电源自组织模糊控制系统，给出了主要硬件电路，对软件功能进行了说明，尤其对自组织模糊控制算法作了较为详细的论述。该系统动态特性良好，抗干扰能力强，有自组织、自学习和系统辩识的能力。